接地電阻柜微小機械敏感器
發(fā)布人：管理員 發(fā)布時間：2014-5-19
接地電阻柜微小機械敏感器近來有把傳感器與機構(gòu)部件結(jié)合為一體的發(fā)展動向，它將特別適合在機器人上使用。
有人設(shè)想，在一塊半導體硅基片上不僅做上了傳感器和電子電路，而且做上機械元件，使之一體化。這種新型器件的制造技術(shù)是利用硅晶體的生長速度的各向?qū)院碗s技分布的異存性，在硅片上打孔、劃溝，以及作出錐形、半球形等各種形狀的機械部件，可以制成閥門、棱鏡、平鏡、噴嘴、插塞、打字頭等。這種方法可以做出力、壓力、加速度、化學氣氛濃度等的傳感器。這種器件在化學分析方面有獨到之處，例如，可以把復雜的氣體色譜儀作在一個硅片上，在2英寸直徑的一塊硅片上不僅做上檢測元件，而且做上了1.5米長的色譜柱和取樣裝置。
最近研制了一種用五個這種色譜分析傳感器與微處理機相組合，做成便攜式微型氣體色譜儀。五個色譜柱具有不同的特性，組合起來能分析約一百種氣體。它在大氣分析、化工氣相分析方面有廣泛的用途。
今后，溫度傳感器、壓力傳感器等種種不同的傳感器復合為一體，并與集成電路做在一塊，使信號數(shù)字化，甚至與機械部件做在一起，這種就能有效地完成自動化控制的任務。
有人設(shè)想，在一塊半導體硅基片上不僅做上了傳感器和電子電路，而且做上機械元件，使之一體化。這種新型器件的制造技術(shù)是利用硅晶體的生長速度的各向?qū)院碗s技分布的異存性，在硅片上打孔、劃溝，以及作出錐形、半球形等各種形狀的機械部件，可以制成閥門、棱鏡、平鏡、噴嘴、插塞、打字頭等。這種方法可以做出力、壓力、加速度、化學氣氛濃度等的傳感器。這種器件在化學分析方面有獨到之處，例如，可以把復雜的氣體色譜儀作在一個硅片上，在2英寸直徑的一塊硅片上不僅做上檢測元件，而且做上了1.5米長的色譜柱和取樣裝置。
最近研制了一種用五個這種色譜分析傳感器與微處理機相組合，做成便攜式微型氣體色譜儀。五個色譜柱具有不同的特性，組合起來能分析約一百種氣體。它在大氣分析、化工氣相分析方面有廣泛的用途。
今后，溫度傳感器、壓力傳感器等種種不同的傳感器復合為一體，并與集成電路做在一塊，使信號數(shù)字化，甚至與機械部件做在一起，這種就能有效地完成自動化控制的任務。
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